最先端半導体メモリ分野へ進出 半導体グレード高純度COSガスを販売開始 クミアイ化学2025年4月9日
クミアイ化学工業は、最先端半導体メモリ分野で使用する高純度COSガスの製品化に成功し、2025年度から販売開始。これを足掛かりに、最先端半導体メモリ分野を含む新たな事業領域への拡大を目指し、引き続き新規化合物探索・材料開発に挑戦する。
同社は、2017年にイハラケミカル工業と経営統合してから、化成品事業を主力の農薬事業に次ぐ第2の柱にするため、新製品の開発に取り組んでいる。その開発過程で、クミアイ化学工業の農薬中間体 硫化カルボニル（COS）が、半導体メモリ（3D NAND）製造に用いるエッチングガスとして使われていることに着目し、2019年にCOSガス開発を始めた。
COSガスを半導体グレードで使うには、純度を上げ「高純度COSガス」とする必要があるため、2021年には当社静岡工場にCOS精製プラントを新設。このほど、COS精製プラントでの生産方法等を最適化することにより、半導体グレードの高純度COSガスを製品化することに成功し、2025年度中に本格販売を開始する。
クミアイ化学工業は、高純度COSガスの販売をきっかけに、最先端半導体メモリ分野を含む新たな事業領域の拡大を目指す。
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